MAPLE, 半导体材料分析系统

特点

- 高性价比的半导体材料分析系统
- 非常宽的扩大量程(UV-VIS-NIR)
- 简洁的设计和配置
- 低噪声和极高的荧光信号探测能力
- 可以采用任意激光激发源
- 很容易找到一个峰值和FWHM说明
- He-Cd 激光器, 325nm, 25mW, TEM 多模
- 高反射介质镜和支架
- 激光带通滤光片
- 熔融石英透镜组，用于聚焦和准直
- 截止滤光片用于防止激光反射
- 电动XY轴位移平台，步长分辨率1um
- 2" 和 4"晶片样本支架
- 紧凑的凹式全息光谱摄制仪
- 1024像素, 低噪声阵列探测器
- 25um x 2500um 像素尺寸, 16位, USB 接口
- 探测范围 : 200-1100nm(取决于光栅)
- SMA905 连接器, 100um 直径., 光纤接口
- 包括系统控制器, 控制和绘图

附加激发光源
- 氩离子激光器(488 和 514nm) 50-100mW
- DPSS激光器(532nm) 100-300mW
- He-Ne激光器(632.8nm) 20mW
- NIR 激光器(785nm) 100mW

附加探测器
- CCD 线性探测器 (2048像素) 400-900nm
- InGaAs 阵列探测器(NIR512像素) 900-1700nm
- 高性价比的低噪声致冷型CCD探测器 (-75C)
(1024 x 128 or 1024 x 256 像素)
- 光电倍增管探测器 (190-900nm 测量范围)

(TEMoo 模式)
- 50um(一般用途)
- 10um(10x M-plan 透镜)
- 在微型荧光或者拉曼光谱系统中采用100x M-plan 透镜时光斑尺寸1um
- 用于低温条件的低温系统. 可以在荧光光谱仪系统中提供