MAGPULS BP 型双极脉冲电源专为高能等离子体激发而设计。双极脉冲电源是由直流电源单元和双极脉冲单元组成的模块化设计系统,通过可自由调节的交替极性脉冲切换电压进入等离子体系统。
这款脉冲电源的功率范围从1kW到600KW,可调频率范围从DC到100kHz,为所有溅射应用和最复杂的等离子体CVD和PVD工艺提供了最高的灵活性。与许多中频发生器不同,MAGPULS BP 电源不需要任何额外的匹配网络。
这款电源高效的电弧管理系统可以针对每个沉积过程进行优化调整,以有效避免材料表面产生膜层缺陷。
所有脉冲和功率参数都可以通过LCD 面板进行显示和控制。当然,所有参数都可以通过 RS232 接口以及可选的 PROFIBUS 接口通过外部计算机进行控制。
MAGPULS BP 型双极脉冲电源专为要求苛刻的等离子体工艺而设计,具有最高的性能。这款脉冲电源具有宽功率范围和完全可自由调节的脉冲频率,最建装饰涂层、硬涂层、平板制造以及大面积溅射涂层,尤其是双磁控溅射,如建筑玻璃、薄膜和纺织品涂料。
