薄膜测量系统是专门针对半导体、材料、生物医学薄膜的实验室分析及在线监测开发的，用于测量薄膜反射率及膜层厚度的综合测量系统。该系统基于白光反射及干涉的原理来确定光学薄膜的厚度。可以通过对白光干涉图样进行数学运算来计算出薄膜厚度。对于单层膜来说，如果已知薄膜的n和k值就可以计算出它的物理厚度。

EMICON LC系统是一个原位实时光度计量系统，可以测量暴露于等离子体过程的表面的反射光谱和透射光谱，从这些光谱数据就可以计算出膜层厚度和颜色参数。